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特點:
» 簡單操作, 先進光學設計實現最佳性能
» 量測高達5層的膜厚與折射率
» 可實現線上厚度與折射率監控量測
» 量測厚度精度: ≦ ±0.5%
» 量測厚度重複性: < 1Å
» 可升級MSP (顯微分光光譜) 系統/ SRM Mapping 系統/ 多通道量測系統/ 大光斑實現有圖案與其特殊結構上量測
» 2D & 3D 輸出圖形介面
» 適用於各式半導體薄膜材料/化合物半導體/氧化薄膜與氮化薄膜/ 光學薄膜/ ITO/ PR,…..
» 型號包括SR100, SR300, SR400, SR450, SR500, SR600
Tag: AST Thin Film Thickness Instruments-SR Series
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特點:
» 簡單操作, 先進光學設計實現最佳性能
» 搭配寬帶應用的高功率 DUV-VIS-NIR 光源
» 多層膜厚量測
» 可實現線上厚度與折射率監控量測
» 精確的高度和傾斜調整
» 系統全自動校準和初始化
» 程序化管理權限介面, 具備工程師模式/ 系統服務模式/ 簡易用戶模式
» 量測厚度精度: ≦ ±0.25%
» 量測厚度重複性: < 1Å or 0.1%
» Beam size 1~5mm 可調
» 2D & 3D 輸出圖形介面
» 適用於各式半導體薄膜材料/化合物半導體/氧化薄膜與氮化薄膜/ 光學薄膜/ ITO/ PR,…..
» 型號包括SE200, SE300, SE450, SE500
» 可選配
1. 反射與穿透的光度量測
2. Micro 等級光斑量測
3. 入射角度自動量測
4. 入射角度手動量測
5. Mapping 平台配置
6. 加熱/加冷平台配置
7. 視覺和數字成像顯示
8. 晶圓BOW/ WARP/ Thickness 量測
9. 波長擴展至遠紅外IRSE
10. 掃描單色儀配置
11. 自動化裝載配置
12. 搭配MSP量測具有數字成像功能的圖案化樣品測量
Tag: AST Thin Film Thickness Instruments-SE Series
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特點:
»簡單操作, 先進光學設計實現最佳性能
» 可變化入射角
» 以FTIR的技術基底實現快速量測
» 連續動態對準的邁克生干涉儀實現長時間穩定的量測
» 卓越的TFProbe軟體, 可透過NK表/ 色散/ EMA混合複合材料指數分級/表面或介面粗糙度自定義層
» 長壽命IR光源
» 適用於磊晶層, <1um 外延層, 摻雜層, Low K 材料, 溝槽/導通孔/凹槽/STI,…
Tag: AST Thin Film Thickness Instruments-SE-IRSE
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特點:
» 簡單操作, 先進光學設計實現最佳性能
» 選配 SExxxBA 可實現 0.001 度解析度自動更改入射角
» 多層膜厚量測
» 可實現線上厚度與折射率監控量測
» 精確的高度和傾斜調整
» 系統全自動校準和初始化
» 程序化管理權限介面, 具備工程師模式/ 系統服務模式/ 簡易用戶模式
» 量測厚度精度: ≦ ±0.25%
» 量測厚度重複性: < 1Å or 0.1%
» MSP Beam size 10- 500 µm 可調
» 2D & 3D 輸出圖形介面
» 適用於各式半導體薄膜材料/化合物半導體/氧化薄膜與氮化薄膜/ 光學薄膜/ ITO/ PR,…..
» 可選配
1. 穿透量測模組
2. 高解析數位相機
3. 超長工作距離物鏡
4. Mapping X-Y平台
5. 加熱/加冷平台配置
6. 符合垂直樣品的測角器配置
7. 波長擴展至DUV或IR
8. 掃描單色儀配置
Tag: AST Thin Film Thickness Instruments-SE-MSP
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特點:
» 簡單操作, 先進光學設計實現最佳性能
» 搭配寬帶應用的高功率 DUV-VIS或氙弧光源
» 多層膜厚量測
» 可實現線上厚度與折射率監控量測
» 精確的高度和傾斜調整
» 系統全自動校準和初始化
» 程序化管理權限介面, 具備工程師模式/ 系統服務模式/ 簡易用戶模式
» 量測厚度精度: ≦ ±0.25%
» 量測厚度重複性: < 1Å or 0.1%
» Spot size 1- 5 mm 可調
» 2D & 3D 輸出圖形介面
» 適用於抗反射層/ 非晶矽/奈米矽/結晶矽/CdTe /CIGS/ CdS/ Mo/ 各種TCO薄膜 （ITO、FTO、IZO、AZO...）
» 可選配
1. 穿透量測模組
2. Micro 等級光斑量測
3. 用於入射角度變化的自動測角器或手動配置
4. Mapping 平台或其他尺寸平台配置
5. 加熱/加冷平台配置
6. 波長擴展至DUV或IR
7. 掃描單色儀配置
8. 搭配MSP量測具有數字成像功能的圖案化樣品測量
9. 其他特殊基材的傾斜裝置
Tag: AST Thin Film Thickness Instruments-SE-Solar
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