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    AST SR Series-光譜反射膜厚量測儀

    特點: » 簡單操作, 先進光學設計實現最佳性能 » 量測高達5層的膜厚與折射率 » 可實現線上厚度與折射率監控量測 » 量測厚度精度: ≦ ±0.5% » 量測厚度重複性: < 1Å » 可升級MSP (顯微分光光譜) 系統/ SRM Mapping 系統/ 多通道量測系統/ 大光斑實現有圖案與其特殊結構上量測 » 2D & 3D 輸出圖形介面 » 適用於各式半導體薄膜材料/化合物半導體/氧化薄膜與氮化薄膜/ 光學薄膜/ ITO/ PR,….. » 型號包括SR100, SR300, SR400, SR450, SR500, SR600 Tag: AST Thin Film Thickness Instruments-SR Series
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    DUV-VIS-NIR光譜橢偏膜厚量測儀

    特點: » 簡單操作, 先進光學設計實現最佳性能 » 搭配寬帶應用的高功率 DUV-VIS-NIR 光源 » 多層膜厚量測 » 可實現線上厚度與折射率監控量測 » 精確的高度和傾斜調整 » 系統全自動校準和初始化 » 程序化管理權限介面, 具備工程師模式/ 系統服務模式/ 簡易用戶模式 » 量測厚度精度: ≦ ±0.25% » 量測厚度重複性: < 1Å or 0.1% » Beam size 1~5mm 可調 » 2D & 3D 輸出圖形介面 » 適用於各式半導體薄膜材料/化合物半導體/氧化薄膜與氮化薄膜/ 光學薄膜/ ITO/ PR,….. » 型號包括SE200, SE300, SE450, SE500 » 可選配      1. 反射與穿透的光度量測      2. Micro 等級光斑量測      3. 入射角度自動量測      4. 入射角度手動量測      5. Mapping 平台配置      6. 加熱/加冷平台配置      7. 視覺和數字成像顯示      8. 晶圓BOW/ WARP/ Thickness 量測      9. 波長擴展至遠紅外IRSE     10. 掃描單色儀配置     11. 自動化裝載配置     12. 搭配MSP量測具有數字成像功能的圖案化樣品測量 Tag: AST Thin Film Thickness Instruments-SE Series
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    SE-MSP 顯微分光光譜橢偏膜厚量測儀

    特點: » 簡單操作, 先進光學設計實現最佳性能 » 選配 SExxxBA 可實現 0.001 度解析度自動更改入射角 » 多層膜厚量測 » 可實現線上厚度與折射率監控量測 » 精確的高度和傾斜調整 » 系統全自動校準和初始化 » 程序化管理權限介面, 具備工程師模式/ 系統服務模式/ 簡易用戶模式 » 量測厚度精度: ≦ ±0.25% » 量測厚度重複性: < 1Å or 0.1% » MSP Beam size 10- 500 µm 可調 » 2D & 3D 輸出圖形介面 » 適用於各式半導體薄膜材料/化合物半導體/氧化薄膜與氮化薄膜/ 光學薄膜/ ITO/ PR,…..    » 可選配        1. 穿透量測模組        2. 高解析數位相機        3. 超長工作距離物鏡        4. Mapping X-Y平台        5. 加熱/加冷平台配置        6. 符合垂直樣品的測角器配置        7. 波長擴展至DUV或IR        8. 掃描單色儀配置 Tag: AST Thin Film Thickness Instruments-SE-MSP
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    SE-Solar 光譜橢偏膜厚量測儀

    特點: » 簡單操作, 先進光學設計實現最佳性能 » 搭配寬帶應用的高功率 DUV-VIS或氙弧光源 » 多層膜厚量測 » 可實現線上厚度與折射率監控量測 » 精確的高度和傾斜調整 » 系統全自動校準和初始化 » 程序化管理權限介面, 具備工程師模式/ 系統服務模式/ 簡易用戶模式 » 量測厚度精度: ≦ ±0.25% » 量測厚度重複性: < 1Å or 0.1% » Spot size 1- 5 mm 可調 » 2D & 3D 輸出圖形介面 » 適用於抗反射層/ 非晶矽/奈米矽/結晶矽/CdTe /CIGS/ CdS/ Mo/ 各種TCO薄膜 （ITO、FTO、IZO、AZO...） » 可選配 1. 穿透量測模組 2. Micro 等級光斑量測 3. 用於入射角度變化的自動測角器或手動配置 4. Mapping 平台或其他尺寸平台配置 5. 加熱/加冷平台配置 6. 波長擴展至DUV或IR 7. 掃描單色儀配置 8. 搭配MSP量測具有數字成像功能的圖案化樣品測量 9. 其他特殊基材的傾斜裝置 Tag: AST Thin Film Thickness Instruments-SE-Solar
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    全自動光譜橢偏膜厚量測儀

    特點:     » 簡單操作, 先進光學設計實現最佳性能     » 水平樣品放置     » 精巧做動的設計     » 可調式入射角度, 自定義解析度     » 全方位材料數據資料庫與參數     » 可依客戶需求搭配不同型號的量測主機與相關配置 Tag: AST Thin Film Thickness Instruments-SE-Automation
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    遠紅外IRSE光譜橢偏膜厚量測儀

    特點: »簡單操作, 先進光學設計實現最佳性能 » 可變化入射角 » 以FTIR的技術基底實現快速量測 » 連續動態對準的邁克生干涉儀實現長時間穩定的量測 » 卓越的TFProbe軟體, 可透過NK表/ 色散/ EMA混合複合材料指數分級/表面或介面粗糙度自定義層 » 長壽命IR光源 » 適用於磊晶層, <1um 外延層, 摻雜層, Low K 材料, 溝槽/導通孔/凹槽/STI,… Tag: AST Thin Film Thickness Instruments-SE-IRSE

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