特點:
» 簡單操作, 先進光學設計實現最佳性能
» 量測高達5層的膜厚與折射率
» 可實現線上厚度與折射率監控量測
» 量測厚度精度: ≦ ±0.5%
» 量測厚度重複性: < 1Å
» 可升級MSP (顯微分光光譜) 系統/ SRM Mapping 系統/ 多通道量測系統/ 大光斑實現有圖案與其特殊結構上量測
» 2D & 3D 輸出圖形介面
» 適用於各式半導體薄膜材料/化合物半導體/氧化薄膜與氮化薄膜/ 光學薄膜/ ITO/ PR,…..
» 型號包括SR100, SR300, SR400, SR450, SR500, SR600
