特點:
» 簡單操作, 先進光學設計實現最佳性能
» 搭配寬帶應用的高功率 DUV-VIS或氙弧光源
» 多層膜厚量測
» 可實現線上厚度與折射率監控量測
» 精確的高度和傾斜調整
» 系統全自動校準和初始化
» 程序化管理權限介面, 具備工程師模式/ 系統服務模式/ 簡易用戶模式
» 量測厚度精度: ≦ ±0.25%
» 量測厚度重複性: < 1Å or 0.1%
» Spot size 1- 5 mm 可調
» 2D & 3D 輸出圖形介面
» 適用於抗反射層/ 非晶矽/奈米矽/結晶矽/CdTe /CIGS/ CdS/ Mo/ 各種TCO薄膜 （ITO、FTO、IZO、AZO…）
» 可選配
1. 穿透量測模組
2. Micro 等級光斑量測
3. 用於入射角度變化的自動測角器或手動配置
4. Mapping 平台或其他尺寸平台配置
5. 加熱/加冷平台配置
6. 波長擴展至DUV或IR
7. 掃描單色儀配置
8. 搭配MSP量測具有數字成像功能的圖案化樣品測量
9. 其他特殊基材的傾斜裝置
