特點:

»簡單操作, 先進光學設計實現最佳性能
» 可變化入射角
» 以FTIR的技術基底實現快速量測
» 連續動態對準的邁克生干涉儀實現長時間穩定的量測
» 卓越的TFProbe軟體, 可透過NK表/ 色散/ EMA混合複合材料指數分級/表面或介面粗糙度自定義層
» 長壽命IR光源
» 適用於磊晶層, <1um 外延層, 摻雜層, Low K 材料, 溝槽/導通孔/凹槽/STI,…

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