特點:

» 高精度四點探針, 日本NPS公司生產製造, 適合半導體材料, 各種導電薄膜材料,…等多種應用
» 量測線電阻, 面電阻(片電阻), 體積電阻(電阻率)
» 量測範圍: 線電阻<1.0000 mΩ~ 500.00 kΩ>
                  面電阻<1.000 mΩ/□~ 5000.0 k Ω/□>
                  電阻率<1.0000 mΩ-cm ~ 500.00 kΩ-cm >
» 量測精度: ±0.2%
» 輸入厚度值: 0.1~9999.9μm
» 自動歸零調整
» 量測檔位自動偵測
» 矽晶圓溫度補償功能
» 可輸入溫度修正因數
» 可連接列印機, 即時提供量測數據標籤
» 搭配軟體透過RS-232 將量測數據輸出
» 可搭配手持式探頭HP-01, 手動壓桿式平台RG-5, 自動下針平台RGE-12W, 等各種量測治具平台