特點:

» 即時判定晶圓參雜極性P型或N 型
» 電阻率範圍: 0.001Ω-cm ~ 1500Ω-cm (minimum 1Ω-cm for Pin probe)
» Pin probe: 適用各種晶圓
» Hot probe: 適合晶棒, 矽晶塊